介紹
渦旋真空泵由于內部沒有任何油類和密封液體,有效地杜絕了泵油的污染,從而可獲得潔凈的真空。然而另一方面由于缺少了油的潤滑和密封作用,渦旋體嚙合時僅靠間隙來密封,這樣泵的性能將決定于加工精度和渦旋體之間的固體潤滑性能。渦旋真空泵內的摩擦部位由于渦旋真空泵是靠間隙密封的,為了提高抽速和降低極限壓強,必須通過控制間隙來降低泄露。密閉腔之間的間隙主要有徑向間隙和軸向間隙,如所示。當間隙很小時,由于加工、裝配誤差以及工作時的受熱變形很容易接觸,產生磨擦。根據摩擦發生的部位分為齒頂摩擦和齒側摩擦。齒頂摩擦發生在動盤(靜盤)齒頂與靜盤(動盤)齒槽底面之間的軸向間隙處;而齒側摩擦則發生在動盤與靜盤齒側面相嚙合的徑向間隙處。機械摩擦一方面會導致功率的損耗,另一方面也會造成渦旋壁的磨損咬合甚至發生鎖死,導致渦旋泵的損壞。因此對間隙處的兩個接觸面必須考慮采取潤滑措施,在渦旋壓縮機中一般采取油潤滑來解決,但渦旋真空泵中不能有油的存在,因此必須尋求采用固體潤滑的方法來解決。
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