渦旋真空泵內的摩擦部位由于渦旋真空泵是靠間隙密封的，為了提高抽速和降低極限壓強，必須通過控制間隙來降低泄露。密閉腔之間的間隙主要有徑向間隙和軸向間隙，如所示。當間隙很小時，由于加工、裝配誤差以及工作時的受熱變形很容易接觸，產生磨擦。根據摩擦發生的部位分為齒頂摩擦和齒側摩擦。齒頂摩擦發生在動盤（靜盤）齒頂與靜盤（動盤）齒槽底面之間的軸向間隙處；而齒側摩擦則發生在動盤與靜盤齒側面相嚙合的徑向間隙處。機械摩擦一方面會導致功率的損耗，另一方面也會造成渦旋壁的磨損咬合甚至發生鎖死，導致渦旋泵的損壞。因此對間隙處的兩個接觸面必須考慮采取潤滑措施，在渦旋壓縮機中一般采取油潤滑來解決，但渦旋真空泵中不能有油的存在，因此必須尋求采用固體潤滑的方法來解決。