真空泵在微波管中的使用
2019-6-12 11:28:50 點擊:
微波管是利用電場、磁場來控制電子束在其內部運動,使電子束產生、加速、運動、收集以及和信號相互作用,以至達到信號放大的目的。因此,避免電子對氣體分子間的碰撞,呆證電子在微波管內部的運動規律,方止發射熱電子的陰極氧化中毒,把微波管抽到一定真空度保證微波管的正常工作,是絕對必要的。微波管的整個壽命期間要求維持高真空或超高真空狀態。真空度的好環直接影響到微波管的可靠性能。
高真空環境的獲得和維持微波管內的真空度的獲得,主要通過排氣工藝把管內氣體抽出,從而獲得一定的真空度。由于微波管結構復雜,零件繁多,一般都是100種以上;真空氣密性焊縫多,一般有幾十道焊縫。所以在排氣時需要加熱到高溫對金屬零件和焊接處進行出氣處理。這樣在微波管工作狀態下,內部零件溫度會身高,就不會出氣了,這樣在工作狀態下仍然會保證高的真空度。常用的排氣系統為油擴散泵排氣系統和渦輪分子泵排氣系統,主要組成為前級泵(機械泵、羅茨泵等)粗抽,然后利用主泵(油擴散泵、分子泵等),配置必要的真空管道、一定高真空閥門、所需的真空計(電阻真空計、電離真空計、B-A真空計等)把真空度抽至高真空。當利用油擴散泵時,還需要加一擋油阱,防止泵油對真空器件內部系統污染程度。
高真空環境的獲得和維持微波管內的真空度的獲得,主要通過排氣工藝把管內氣體抽出,從而獲得一定的真空度。由于微波管結構復雜,零件繁多,一般都是100種以上;真空氣密性焊縫多,一般有幾十道焊縫。所以在排氣時需要加熱到高溫對金屬零件和焊接處進行出氣處理。這樣在微波管工作狀態下,內部零件溫度會身高,就不會出氣了,這樣在工作狀態下仍然會保證高的真空度。常用的排氣系統為油擴散泵排氣系統和渦輪分子泵排氣系統,主要組成為前級泵(機械泵、羅茨泵等)粗抽,然后利用主泵(油擴散泵、分子泵等),配置必要的真空管道、一定高真空閥門、所需的真空計(電阻真空計、電離真空計、B-A真空計等)把真空度抽至高真空。當利用油擴散泵時,還需要加一擋油阱,防止泵油對真空器件內部系統污染程度。
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