殘余壓力或極限真空度－指該泵所能達到的最低壓力。用真空泵抽吸某一密閉容器中的氣體，無論抽吸的時間有多久，容器中的壓力是不能無限地降低到零，即絕對真空，這是因為當進氣壓力低于某一值后，泵內液體就會汽化，泵無法繼續吸入新氣體，容器之中壓力在這種情況下，再也不能降低，此時的絕對壓力稱為殘余壓力。